Năm 208, khi Tào Tháo trở thành Thừa tướng nhà Hán, Tư Mã Ý lúc này mới chính thức theo phục Tào Ngụy. Dù được thăng quan tiến chức rất nhanh nhưng Tư Mã Ý không quá được Tào Tháo trọng dụng, thậm chí trước khi chết, Tào Thào còn để lại di ngôn là luôn phải đề phòng Tư Mã Ý. Do đó đến thời Tào Phi, Tư Mã Ý vẫn khép nép làm đúng bổn phận.
Cho đến thời Tào Duệ, Tư Mã Ý có công lớn bảo vệ được Tào Ngụy trước các cuộc Bắc phạt của Gia Cát Lượng, thu phục được lòng quân, quyền lực ngày một lớn. Sau một khoảng thời gian dài nhẫn nhịn Tào Sảng để chờ thời cơ, ông đã tiến hành một cuộc lật đổ vào năm 249, khiến hoàng đế Nguỵ chỉ còn tồn tại trên lý thuyết.
Từ đó vị trí quyền lực nhất của ông trong triều đình nhà Ngụy đã tiếp tục được chuyển giao cho hai con ông là Tư Mã Sư và Tư Mã Chiêu nắm quyền lực thực tế của nhà Ngụy.
"Tâm của Tư Mã Chiêu, người qua đường cũng thấy" là câu nói nổi tiếng của Ngụy Đế Tào Mao để mô ta tình hình chính quyền khi đó, sau trở thành một câu thành ngữ trong tiếng Hán nói về ý đồ không thể che giấu của một người.
Tư Mã Chiêu là con trai thứ hai của Tư Mã Ý, một thần tử nắm đại quyền thời kỳ cuối Tào Ngụy, cũng là người góp đại công lập nên Vương triều Tây Tấn. Tư Mã Chiêu thời niên thiếu cùng phụ thân Tư Mã Ý nam chinh bắc chiến, tích lũy được vô số kinh nghiệm thao binh, lập được không ít đại công.
Năm Công Nguyên 240, Tư Mã Chiêu được giao chức vụ Lạc Dương Điển nông Trung Lang Tướng, khi đương nhiệm ông luôn nghĩ cho bá tánh, miễn trừ các loại tạp thuế không cần thiết, vì vậy mà rất được bách tính ủng hộ.
Đến năm Công Nguyên 244, Tư Mã Chiêu đi theo Đại tướng quân Tào Sảng phạt Thục, nhận lệnh làm phúc tướng của Hạ Hầu Huyền, nhận thấy thế cục phức tạp, ông bình tĩnh suy xét, đưa ra phán đoán chuẩn xác.
Trong tình thế đêm tối bị đánh úp không có tầm nhìn phản kích, Tư Mã Chiêu dựa vào môi trường xung quanh mà quyết định an binh bất động, không bị rơi vào "chiếc bẫy" của Vương Lâm. Tư Mã Chiêu còn tích cực lên tiếng đưa ra những sách lược hợp lý cho Hạ Hầu Huyền và Tào Sảng, giúp quân Ngụy thuận lợi lui binh.
Cho đến khi Tân Đế Tào Phương lập vị được hai năm, anh trai của Tư Mã Chiêu là Tư Mã Sư được thăng làm Đại tướng quân, đại quyền gần như nằm trong tay dòng họ Tư Mã.
Tư Mã Chiêu cùng huynh trưởng liên tục thăng quan tiến chức. Đến năm 256, ông được phong làm Đại đô đốc, diện tích đất đai được phong ngày càng mở rộng. Sau đó Tư Mã Chiêu còn tiêu diệt được Gia Cát Đản, tiếng tăm không ngừng gia tăng.
Đến năm Công Nguyên 258, Tư Mã Chiêu ép Ngụy Đế Tào Mao phong mình làm Tấn Công, thiết lập nước Tấn trong địa phận nhà Ngụy.
Năm Công Nguyên 260, Ngụy Đế Tào Mao cảm thấy lo lắng vì ngày càng mất dần quyền lực nên muốn loại trừ Tư Mã Chiêu. Tào Mao muốn tập trung nhân mã bất ngờ đánh trực tiếp vào phủ Tư Mã, tuy nhiên kế hoạch lại bị Vương Nghiệp làm bại lộ.
Quân Tào Mao tiến tới Nam Khuyết thì bị Hộ quân Giả Sung là thủ hạ tin cậy của Tư Mã Chiêu ngăn cản. Tào Mao đích thân rút kiếm tử chiến. Giả Sung bèn sai thủ hạ là Thái tử xá nhân Thành Tế xông lên giết chết Tào Mao.
Tư Mã Chiêu lo sợ bị thiên hạ và hậu thế chỉ trách, nên vờ như không biết việc giết Tào Mao, xử tội Thành Tề giết vua, chu di tam tộc. Sau đó Tư Mã Chiêu lập con của Yên vương Tào Vũ là Tào Hoán lên ngôi, tức Ngụy Nguyên Đế.
Năm 263, Tư Mã Chiêu dẫn diệt Thục khi nước này đã suy yếu và nội bộ mất đoàn kết.
Tháng 3 năm Công Nguyên 264, Tư Mã Chiêu ép Tào Hoán phong mình làm Tấn Vương, tăng đất truy phong từ 10 lên 20 quận, mở rộng lãnh thổ nước Tấn. Đồng thời, truy tôn phụ thân là Tư Mã Ý làm Tuyên Vương, anh trai Tư Mã Sư làm Cảnh Vương, chọn Tư Mã Viêm làm Vương Thế Tử.
Năm Hàm Hi thứ 2, một năm sau khi Tư Mã Chiêu được phong Tấn Vương, ông lâm bệnh mà qua đời, thọ 55 tuổi. Vương thế tử Tư Mã Viêm nối ngôi, truy tôn Tư Mã Chiêu làm Văn Vương.
Đến tháng 12 năm đó, Tấn Vương Tư Mã Viêm phế truất Tào Hoán, chính thức lên ngôi Hoàng Đế, lấy hiệu Tấn Vũ Đế, truy tôn Tư Mã Chiêu làm Tấn Văn Đế, lập ra Tấn Quốc.
Năm 280, Tấn Vũ đế chinh phục nốt nước Ngô, bắt Vua Ngô là Tôn Hạo, thống nhất thiên hạ, kết thúc giai đoạn Tam Quốc phân tranh.